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在保證氣體純度的前提下,ARTP誘變系統的功率不穩定,在處理時間為5s時ARTP功率會出現波動,但是如果設置時間偏長則不會出現這種情況。

作者:admin 發布時間:2017/08/31 瀏覽量:5158

ARTP功率是通過功率表指針進行指示,放電的一瞬間指針會快速彈起,指針由于慣性會先達到一個相對較高的數值,然后在一定時間內穩定到設定值,為了保證穩定性按照6中所述預放電30s。

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